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主营产品:

钨坩埚,钨片,钼靶,蓝宝石晶体生长炉热场,钨钼合金,钨棒,钨板,钼片,钼杆,钨钼靶材

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端板

端板
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:端板
  • 产品型号:根据客户图纸
  • 产品展商:ACHEMETAL
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简单介绍

洛阳爱科麦难熔金属有限公司拥有车、铣、刨、磨、电加工、加工中心等各种设备,可按用户要求加工各种离子注入用钨端板和钼端板等离子源组件。 我公司加工制作的离子注入用离子源端板具有密度高,纯度高,尺寸精度好的特点。

产品描述

 

端板是离子注入机离子源的重要组件。不同粒子注入机厂家的端板有不同的形状和规格。我公司可根据客户图纸加工成型。由于我们生产加工端板所需的钨钼原材料,所以除端板尺寸精度外,产品性能可以得到保障。

 

根据不同厂家设计,端板可能由钨材质或钼材质制成。


离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术,其利用离子注入机实现半导体的掺杂,即使用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子,产生电离的特定杂质原子经静电场加速后打到硅单晶圆片表面,并打入半导体内部,改变导电特性并蕞终形成晶体管结构。

 

由于在离子源发生的电子转换为电浆离子时,会产生2000℃以上的工作温度,离子束喷发时,也会产生很大的离子动能,一般金属会很快烧熔,因此需要质量密度较大的惰性金属,以维持离子束喷发方向,并增加组件耐用度,钨钼是必选材料。由于钨钼材料高温化学性质稳定、热变形小和使用寿命长等优点,因此半导体行业离子注入机弧光反应腔零组件及耗件多采用钨、钼材料制造,这些器件包括发射电子阴极的屏蔽筒、发射面板、中心固定杆、起弧室内的丝极板等,我们统称为离子注入用钨零件和离子注入用钼零件

 

离子注入用钨钼零件所用材料经过对传统钨钼材料工艺进行优化,包括细晶化、合金化处理,真空烧结和热等静压烧结致密化,二次晶粒细化控轧技术,普遍提高传统钨钼材料的寿命、耐高温及抗蠕变性能

 

我公司生产的离子注入用钨钼零件晶粒度细化,相对密度≥99%高温力学性能指标比普通钨钼材料明显提高使用寿命也明显延长

 

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