洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司

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钨坩埚,钨片,钼靶,蓝宝石晶体生长炉热场,钨钼合金,钨棒,钨板,钼片,钼杆,钨钼靶材

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发热体外环

发热体外环
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:发热体外环
  • 产品型号:直径550以下
  • 产品展商:ACHEMETAL
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

MOCVD机发热体外环可用纯钨或钨合金制作。 MOCVD机发热体外环的使用环境对材料的纯度、抗蠕变性能均有较高要求。

产品描述

金属有机物化学气相淀积(简称MOCVD)是技术生长III-V族,II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气,通入液体中携带出蒸汽,与V族的氢化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反应室,在加热的衬底表面发生反应,外延生长化合物晶体薄膜。


LED的发光核心是一种称为外延片(Epitaxial Slice)的复合材料,由于Mocvd技术在外延片上的成功运用,使得此种设备使用量迅速增加。 


由于MOCVD设备工作时工作温度高于2000℃,钨及其合金也是该设备发热体外环等部分组件的优选材料。


早期MOCVD设备发热体外环由铼或钨铼合金等材料制成,随着此种设备的普及,出于降低成本要求,纯钨及钨和一些稀土元素的合金材质制成的发热体外环逐步被用户接受。



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