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钨坩埚,钨片,钼靶,蓝宝石晶体生长炉热场,钨钼合金,钨棒,钨板,钼片,钼杆,钨钼靶材

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钨旋转靶材

钨旋转靶材
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:钨旋转靶材
  • 产品型号:直径5英寸 5.5英寸 6英寸
  • 产品展商:ACHEMETAL
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

洛阳爱科麦拥有热等静压、大型冷等静压、大型真空和气体保护烧结炉、大型数控铣床和大型数控磨床等设备及成熟的生产工艺,可以批量生产平面钼靶材、旋转钼靶材、平面钼铌靶材、旋转钼铌靶材、钼钽靶材、平面钨靶材、旋转钨靶材、钨钛靶材、铬靶材等。

产品描述

 

溅射是一种先进的薄膜材料制备技术它利用离子源产生的离子在真空中加速聚集成高速离子流轰击固体表面离子和固体表面的原子发生动能交换使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面从而形成纳米或微米薄膜。而被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料称为溅射靶材。钨靶材和钼靶材可在各类基材上形成薄膜这种溅射膜广泛用作电子部件和电子产品如目前广泛应用的TFT - LCD (  薄膜半导体管-液晶显示器)、等离子显示屏、无机光发射二极管显示器、场发射显示器、薄膜太阳能电池、传感器、半导体装置以及具有可调谐功函数CMOS(互补金属氧化物半导体)的场效应晶体管栅极等  

 

爱科麦可生产的钨溅射靶材包括钨平面靶材和钨旋转靶材,以配合不同型号的磁控溅射设备使用。在使用过程中,钨旋转靶材的利用率远大于钨平面靶材。

由于钨材料加工难度较大,目前我公司可生产的钨旋转靶材长度限于1.2米以内。 

 

由于使用了热等静压技术,爱科麦生产的钨旋转靶材的密度接近理论密度,其组织均匀性及纯度等指标均受到了客户好评。

 

衡量靶材的质量主要因素有 纯度、致密度、晶粒尺寸及分布等。在这些方面,爱科麦投入了大量的资金和精力进行研发并取得了显著成效。并形成了具有以下特点的生产工艺(1)选择高纯钨粉作为原料; ( 2)独有的成形烧结技术以保证靶材的低孔隙率并控制晶粒度; ( 3)制备过程严格控制杂质元素的引入。(4对部分高要求产品采用热等静压方法,蕞大程度地获得了钨旋转靶材的良好性能此方法制得的钨靶材获得18.6以上极高密度细晶粒产品。  

 

 

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